產品功能:

◆設備烘干，然結一體化結構緊湊合理，符合半導體制造標準。

◆穩定可靠的工藝溫度控制系統（采用英國WEST溫度控制器）。

◆采用美國進口加熱燈管加熱。

◆采用先進的文氏排氣系統，從而保證了有害氣體的不泄露。

◆設備控制采用工業控制機統一控制。